TU-4100/J日本TAISEI大成技研 組合式濾芯粉末捕集器
日本TAISEI大成技研 組合式濾芯粉末捕集器
TRAPACK是一種粉末去除捕集器,可去除半導體和液晶制造設備廢氣中的反應產物(細粉)。結構有渦流旋流吸附型、磁性元件型(Trapac Element)以及兩者結合的組合型三種。特別是,組合型排除了蝕刻設備和CVD設備發出的亞微米細粉
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2024-08-07 - 02
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